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micro-accele相关论文
GaAs/AlGaAs薄膜压阻特性研究
为了探索新的微机电转换方法,提出一种GaAs/AlGaAs压阻薄膜结构.该结构采用分子束外延生长技术(MBE),在半绝缘GaAs衬底(001)方向上生长......
期刊
GAAS/ALGAAS
薄膜
压阻特性
微加速度计
应变因子
GaAs/AlGaAs
film
piezoresistivity
micro-accele
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